Vakuumvergassing is om die werkstuk in vakuum te verhit.Wanneer dit die temperatuur bokant die kritieke punt bereik, sal dit vir 'n tydperk bly, die oksiedfilm ontgas en verwyder, en dan die gesuiwerde karboniseergas inlaat vir karbonisering en diffusie.Die karboniseringstemperatuur van vakuumverkoling is hoog, tot 1030 ℃, en die karboniseringspoed is vinnig.Die oppervlakaktiwiteit van gekarbureerde dele word verbeter deur ontgassing en deoksidasie.Die daaropvolgende diffusiespoed is te hoog.Verkoeling en diffusie word herhaaldelik en afwisselend uitgevoer totdat die vereiste oppervlakkonsentrasie en -diepte bereik is.
Vakuum karboniseer diepte en oppervlak konsentrasie kan beheer word;Dit kan die metallurgiese eienskappe van die oppervlaklaag van metaalonderdele verander, en die effektiewe karboniseringsdiepte daarvan is dieper as die werklike karboniseringsdiepte van ander metodes.